精密工業淨化車間重點參數

B50472-2013潔淨廠房設計規範

GB50472-2008-精密工業潔淨廠房設計規範

GB50515-2010導（防）靜電地麵設計規範

1服務領域：精密電子、精密機械、半導體、高精配件、光導纖維、鋰電池等。

2重點注意事項：

1、人流

1-1、人員淨化：

1-2、潔淨室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；

1-3、單人空氣吹淋室，應按大班人數30人設一台。潔淨室人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；

1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控製措施；

1-5、空氣潔淨度等級為5級或嚴於5級的垂直單向流潔淨室，宜設氣閘室。

2、物流

2-1、潔淨室內的設備和物料出入口，應獨立設置，並應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置淨化用室及相應的物淨設施。

2-2、物料淨化用室與潔淨室之間應設置氣閘室或傳遞窗。

3、靜壓差

3-1、不同等級的潔淨室之間的靜壓差應大於等於5Pa；

3-2、潔淨室與非潔淨室之間的靜壓差應大於5Pa；

3-3、潔淨室與室外的靜壓差應大於10Pa。 4、根據生產要求需設計相應防靜電設施。

5、電子工業潔淨室空氣潔淨度等級表